Opis

Pošaljite upit

EDI postrojenje za prečišćavanje vode za poluprovodnike je obično dio sistema ultra čiste vode (UPW). U ovom kontekstu, EDI je "korak poliranja-uklanjanja jona" nakon RO koji vam pomaže da postignete ekstremno nisku provodljivost-zatim dodatno UPW poliranje uklanja TOC, silicijum/bor, otopljene gasove, bakterije i čestice kako bi se zadovoljili fab zahtjevi.

Zašto je EDI standard za poluprovodnike

Tradicionalni slojevi ionske{0}}smole u velikoj mjeri se zamjenjuju EDI-jem u postrojenjima poluprovodnika zbog nekoliko kritičnih tehničkih prednosti:

Nulto jonsko curenje: Za razliku od standardnih slojeva smole koji mogu "propuštati" jone kako se iscrpe, EDI obezbjeđuje konstantan tok visoke -čistoće jer se smola kontinuirano regenerira električnim poljem.
Okruženje bez hemikalija: Poluprovodnici zahtijevaju nevjerovatno stabilno okruženje. EDI koristi električnu energiju umjesto opasnih kiselina i nagrizajućih tvari, eliminirajući rizik od hemijskih isparenja ili slučajnog izlivanja koja bi mogla kontaminirati zrak "Čiste sobe".
Nizak TOC i uklanjanje silicijum-dioksida: EDI je veoma efikasan u uklanjanju slabo jonizovanih vrsta kao što su silicijum ($SiO_2$) i bor, koje je poznato da je teško ukloniti, ali su razorne za poluprovodnike.
Modularna skalabilnost: Poluprovodnički "fabovi" su ogromni. EDI sistemi su modularni, omogućavajući inženjerima da povećavaju ili smanjuju proizvodnju vode kako bi odgovarali broju alata za litografiju ili jetkanje u radu.

Tipično EDI postrojenje za prečišćavanje vode za poluprovodnike

U postrojenju za proizvodnju poluprovodnika, EDI postrojenje je "srce" petlje za poliranje, smješteno između faze reverzne osmoze (RO) i filtera za krajnje tačke{0}}upotrebe-:

Primarni tretman (dvostruki-RO): Uklanja 99% krupnih zagađivača. Visok-kvalitetni permeat iz drugog RO prolaza služi kao napojna voda za EDI.
Degasifikacija: Uklanja otopljene $O_2$ i $CO_2$. Ovo je kritično jer rastvoreni gasovi mogu da izazovu mjehuriće na površini pločice i ometaju efikasnost EDI-ja.
EDI modul: Voda je polirana do 15–18 M$\\Omega$·cm. Električno polje osigurava da smola-izmjenjivača jona ostane u trajno "napunjenom" stanju.
UV i ultrafiltracija (UF): Završno "poliranje" na 18,5 nm ili 254 nm UV talasnim dužinama kako bi se uništili svi tragovi organskih materija (TOC) i UF membrane da bi se uhvatile sve preostale sub-mikronske čestice.

Ključne tačke dizajna koje su najvažnije

Hrana za EDI mora biti vrlo čista: mala tvrdoća, mali rizik od stvaranja kamenca od silicijum dioksida, niski oksidansi (hlor), nizak SDI.
Otplinjavanje (uklanjanje CO₂) često poboljšava otpornost i smanjuje EDI opterećenje.
Materijali i higijena: UPW petlje obično koriste materijale visoke -čistoće (npr. PVDF/PFA/EP-klasa SS u zavisnosti od specifikacije) i stalnu recirkulaciju kako bi se spriječila kontaminacija.
Nadgledanje: otpornost, TOC, silicijum dioksid, DO, broj čestica, protok/pritisak, temperatura-plus alarmi/trend.

Ako mi kažete ove 4 stavke, mogu predložiti odgovarajuće EDI postrojenje za prečišćavanje vode za poluprovodnike: